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測(cè)試樣品

壓電薄膜

測(cè)試項(xiàng)目

性能測(cè)試，指標(biāo)測(cè)試等。

檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)參考

IEC 62047-37-2020半導(dǎo)體器件–微機(jī)電器件–第37部分：用于傳感器的MEMS壓電薄膜的環(huán)境測(cè)試方法–版本1.0

SJ 20717A-2018氧化鋅壓電薄膜規(guī)范

SJ 21102-2016氮化鋁壓電薄膜通用規(guī)范

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